Mikrolitographie

HBO-Quecksilber-Kurzbogenlampen für die Herstellung von Mikrochips, LCDs und PCBs

OSRAM HBO Quecksilber Kurzbogenlampen mit Leistungen von 200W bis 25000W werden hauptsächlich als UV Punktlichtquelle in der Mikrolithographie bei der Herstellung von Mikrochips, Flachbildschirmen und Leiterplatinen genutzt. Um die richtige Strahlung für nahezu jede Anwendung zu garantieren, steht eine Vielzahl an Lampentypen zur Verfügung, deren Entwicklung in enger Zusammenarbeit von ams Osram, als Lampenhersteller, und den Geräteherstellern oder lokalen Anwendern erfolgt.

Niedrige Betriebskosten

Lange Lebensdauer

Hervorragende Wartung

IC/Wafer Litographie

HBO-Lampen zur UV litographischen Belichtung von integrierten Schaltkreisen nutzen die “i-Linie” (365nm), die g-Linie (436nm) oder die tiefen UV Linien (254nm) des Emissionsspektrums

LCD/OLED/PCB Litographie

HBO-Lampen für die breitbandige UV Litographie-Belichtung von Flachbildschirmen nutzen die g/h/i-Linien (350nm-450nm) des Emissionsspektrums mit extra-langer Lebensdauer und hoher Intensität

Advanced Packing

HBO-Lampen zur mikrolitographischen UV-Belichtung von gestapelten Chiplagen, mikro-elektromechanischen Systemen (MEMS) und Leuchtdioden werden u.a. in Mask-Alignern genutzt